質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter（MFM）, 是一種..測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。

怎么理解質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的流量單位？

氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和SLM（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是SCCM﹑SLM不同于mL/min﹑L/min 之處。

對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度可以方便地查到，因而簡單地作一個(gè)乘法（以密度乘以SLM）即可實(shí)現(xiàn)。

什么情況下用質(zhì)量流量計(jì), 什么情況下用質(zhì)量流量控制器 ?

一般而言，僅對(duì)流量進(jìn)行計(jì)量或監(jiān)測(cè)時(shí)，用質(zhì)量流量計(jì)；需要對(duì)流量進(jìn)行控制時(shí)，用質(zhì)量流量控制器。某些測(cè)量場(chǎng)合，用二者皆可，但質(zhì)量流量控制器更好用。例如，后面講到的測(cè)量小孔直徑﹑閥門泄漏量﹑工件（如毛細(xì)管）流通量等。

質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？

（1）流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)?！　?duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。（2）測(cè)量控制的自動(dòng)化　　質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。（3）..地定量控制流量　　質(zhì)量流量控制器可以..地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用，（4）適用范圍寬　　有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品.小流量范圍可達(dá)0～5 SCCM，.大流量范圍可達(dá)0～250SLM。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%,因此在很多領(lǐng)域得到應(yīng)用。（5）準(zhǔn)確度高﹑重復(fù)性好　　我們的產(chǎn)品準(zhǔn)確度可達(dá)±2%F.S.或±1%F.S.，重復(fù)性為±0.2%F.S.。（6）體積小巧﹑安裝方便﹑操作簡單（7）技術(shù)先進(jìn)，符合發(fā)展潮流

質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的主要缺點(diǎn)有哪些？

（1）價(jià)格較高。

對(duì)于用慣了轉(zhuǎn)子流量計(jì)的用戶來說，質(zhì)量流量計(jì)的確顯得貴一些。

（2）維護(hù)費(fèi)用較高

原則上講，對(duì)于計(jì)量產(chǎn)品應(yīng)當(dāng)定期標(biāo)定；產(chǎn)品的故障率盡管不同品牌不盡相同，但出現(xiàn)故障的可能都存在，因而一般是需要一些標(biāo)定﹑維修費(fèi)用的。由于各生產(chǎn)廠家收費(fèi)政策不同﹑用戶使用情況不同﹑產(chǎn)品故障率也不一樣，因而用戶的維護(hù)費(fèi)支出可能有差別。

（3）生產(chǎn)難度較大

質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器是高技術(shù)產(chǎn)品，其生產(chǎn)難度是相當(dāng)大的，這也是多年來我國嘗試開發(fā)者很多﹑真正成功者極少的原因之一。由于其生產(chǎn)難度大，品質(zhì)保證難度也大，因而用戶在選購時(shí)要小心謹(jǐn)慎，避免帶來無盡的煩惱。

（4）某些情況下可能造成氣路堵塞

當(dāng)質(zhì)量流量控制器出現(xiàn)某些故障，或氣源不潔導(dǎo)致傳感器或分流器堵塞，或因操作失誤，均有可能造成氣路堵塞。對(duì)有的用戶而言，應(yīng)當(dāng)特別給以注意，既要選擇合適的型號(hào)，又要正確進(jìn)行系統(tǒng)設(shè)計(jì)和正確使用。

選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意什么？

這一點(diǎn)關(guān)系到用戶的切身利益，涉及的問題也比較多，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。（1） 注意選擇正確的量程　　將您需要的流量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）?！　「鶕?jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮?dú)猓?biāo)定氣體）等價(jià)的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實(shí)際使用的氣體標(biāo)定，請(qǐng)向廠家說明。有關(guān)質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)的問題，以下還有進(jìn)一步解答?！　〈_定所需標(biāo)準(zhǔn)量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量程，您實(shí)際使用的流量.大值應(yīng)接低于某個(gè)標(biāo)準(zhǔn)量程值。標(biāo)準(zhǔn)量程的選取要避免過大或過小。質(zhì)量流量的誤差指標(biāo)是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實(shí)際流量較小而量程值選取過大，則測(cè)量值的相對(duì)誤差較大。（2）注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)　　D07系列產(chǎn)品可以在真空或高壓條件下工作，但不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同，注意選擇適合自己的產(chǎn)品。　　質(zhì)量流量控制器（MFC）除.大工作壓力之外，還有另一項(xiàng)工作壓力指標(biāo)：工作壓差，即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差，選型時(shí)要注意，使用時(shí)也要注意。（3）注意選擇合適的精度指標(biāo)　　準(zhǔn)確度﹑線性﹑重復(fù)精度是比較重要的幾項(xiàng)指標(biāo)，其中重復(fù)精度在很多應(yīng)用場(chǎng)合尤為重要。指標(biāo)不一定追求.高，應(yīng)考慮自己的實(shí)際需要。（4）注意選擇合適的響應(yīng)時(shí)間指標(biāo)　　有的應(yīng)用系統(tǒng)對(duì)MFC的響應(yīng)時(shí)間有較高的要求，用戶應(yīng)根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應(yīng)時(shí)間指標(biāo)的同時(shí)，還應(yīng)注意其響應(yīng)過程及動(dòng)態(tài)特性。（5）注意對(duì)安裝位置有無要求 有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝。（6）注意產(chǎn)品的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性　　某些系統(tǒng)對(duì)流量的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性有較高的要求，在這種情況下，用戶應(yīng)當(dāng)深入了解具體產(chǎn)品的響應(yīng)特性。（7）注意零點(diǎn)的穩(wěn)定性　　對(duì)于計(jì)量產(chǎn)品而言，零點(diǎn)的穩(wěn)定性是非常重要的，也是較難保證的。不同的產(chǎn)品零點(diǎn)穩(wěn)定性可能是不一樣的。（8）注意適用范圍　　MFM/MFC 對(duì)使用的環(huán)境及介質(zhì)溫度﹑氣源壓力﹑介質(zhì)（特別是使用對(duì)腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請(qǐng)注意閱讀說明書或向廠家咨詢。（9）訂貨應(yīng)注明：產(chǎn)品名稱、型號(hào)、流量規(guī)格、標(biāo)定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）、接頭形式和數(shù)量。

買質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器時(shí)，還需要買其它配套產(chǎn)品嗎？　　一般需要流量顯示儀與之配套使用。流量顯示儀為MFM/MFC提供工作電源，進(jìn)行流量顯示，對(duì)MFC進(jìn)行流量設(shè)定操作。如果將MFM/MFC直接和計(jì)算機(jī)測(cè)控系統(tǒng)相連，視情況也可以不配流量顯示儀。

另外根據(jù)系統(tǒng)的需要可以選購截止閥﹑過濾器﹑干燥器﹑單向閥﹑管接頭﹑減壓器﹑背壓閥等。

一定要按實(shí)際使用氣體標(biāo)定顯示嗎？

不一定。按實(shí)際實(shí)際使用氣體標(biāo)定顯示，顯示的是實(shí)際氣體的流量, 比較直觀。但在很多的實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)合，只需要找到一個(gè)合適的流量參數(shù)并保證測(cè)量和控制的重復(fù)性，至于該氣體的實(shí)際質(zhì)量流量是多少，用戶并不是特別關(guān)心。在這種情況下，您直接使用廠家的標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（氮?dú)鈽?biāo)定顯示）也可以。當(dāng)然，如前面所提到的，您在選定流量規(guī)格時(shí)，需要換算一下，以選擇合適的量程。對(duì)于某些用戶，同一個(gè)產(chǎn)品有時(shí)可能會(huì)通不同的氣體，這種情況下，直接使用氮?dú)鈽?biāo)定出廠的產(chǎn)品更方便。

可以用于多組分氣體嗎？　　對(duì)于固定比例的多組分氣體是沒有問題的，但對(duì)于比例不定的多組分氣體則不一定好用。

怎樣進(jìn)行不同氣體的質(zhì)量流量換算？

產(chǎn)品出廠一般是按氮?dú)鈽?biāo)定﹑按氮?dú)饬髁看_定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測(cè)量不同的氣體，當(dāng)流量檢測(cè)值相同時(shí)，實(shí)際的流量值可能不同。我們?cè)谡f明書中給出了不同氣體相對(duì)于標(biāo)定氣體（氮?dú)猓┑馁|(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)?！　∪绻褂玫漠a(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（按氮?dú)鈽?biāo)定顯示），而需要知道實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量時(shí)，先在產(chǎn)品說明書中找到實(shí)際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測(cè)量過程中，以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量；反之，在確定所購產(chǎn)品的量程時(shí)，以實(shí)際使用氣體的.大期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù)，即是相應(yīng)的氮?dú)鈽?biāo)定產(chǎn)品的流量值?！　】諝?、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮?dú)鈽?biāo)定顯示的產(chǎn)品，不必?fù)Q算?！　?duì)于多組分氣體，其流量轉(zhuǎn)換系數(shù)可以用技術(shù)說明書附錄中提供的公式進(jìn)行計(jì)算。有問題請(qǐng)向廠家咨詢。

怎樣和計(jì)算機(jī)相連接？　　計(jì)算機(jī)可以直接和MFM/MFC相連，也可以和流量顯示儀相連。

一般需要在計(jì)算機(jī)上配A/D﹑D/A轉(zhuǎn)換板用于接收流量測(cè)量值和給出流量設(shè)定信號(hào)，這種轉(zhuǎn)換板在工業(yè)控制產(chǎn)品市場(chǎng)上很容易買到；如果您沒有買流量顯示儀，則還需要配置±15V的直流電源向MFM/MFC供電；然后按照MFM/MFC或流量顯示儀的輸入輸出信號(hào)定義，使之與A/D﹑D/A轉(zhuǎn)換板正確相連。另外還需要相應(yīng)的軟件。

MFM/MFC的使用方面有什么注意事項(xiàng)？

（1）注意閱讀產(chǎn)品說明書及有關(guān)資料

（2）注意系統(tǒng)設(shè)計(jì)

用戶購買MFM/MFC后，往往要組建一個(gè)系統(tǒng)。建議在系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，不要僅僅考慮功能的實(shí)現(xiàn)，還要考慮系統(tǒng)的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易維護(hù)性﹑易擴(kuò)充性等因素。以下給出幾點(diǎn)具體建議：

A．對(duì)于反應(yīng)系統(tǒng)，建議在MFC的出氣端加裝單向閥，以防止異常情況下反應(yīng)物倒流損壞 MFC。

B．對(duì)于高壓系統(tǒng)，應(yīng)在MFC的下游加裝背壓閥（或其它節(jié)流裝置）及壓力表，以便于保證MFC的工作壓差。

C．注意加裝過濾器，以凈化氣源，延長MFM/MFC的使用壽命。

D．對(duì)于硅烷這樣的遇空氣易形成結(jié)晶的氣體，應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性（檢漏時(shí)不要忽視減 壓器），必要時(shí)設(shè)計(jì)吹洗旁路，隨時(shí)進(jìn)行氮?dú)獯迪椿蛘龎罕３帧?

E．有高頻源的系統(tǒng)應(yīng)注意屏蔽并特別注意處理好接地問題，例如采用單點(diǎn)接地。

F．對(duì)于高真空系統(tǒng)，注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。

G．MFM/MFC的安裝位置應(yīng)易于裝卸﹑檢測(cè)﹑調(diào)零，并安全可靠。

H．對(duì)可靠性要求極高的系統(tǒng)，應(yīng)注意冗余設(shè)計(jì)。

（3）注意正確使用操作

對(duì)于比較復(fù)雜的系統(tǒng)或使用特殊氣體的系統(tǒng)，應(yīng)當(dāng)建立自己的操作規(guī)程。

（4）注意輕拿輕放妥善保管

MFM/MFC非常精密，應(yīng)避免受到撞擊和振動(dòng)。產(chǎn)品不用時(shí)注意放在較好的環(huán)境中妥善保管。

（5）注意定期標(biāo)定

原則上應(yīng)當(dāng)定期標(biāo)定。

（6）注意使用氣體與流量計(jì)的密封材料相適應(yīng)

我廠生產(chǎn)的流量計(jì)通常采用的密封材料是氟橡膠，能適合大多數(shù)氣體的使用，包括HCL這樣的強(qiáng)腐蝕性氣體。但對(duì)于氨氣，必須使用耐氨橡膠；對(duì)于有機(jī)溶劑類氣體，如丙酮、甲苯等，必須使用硅橡膠；對(duì)于使用三氯化硼、三溴化硼等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，必須使用四氟密封或金屬密封的流量計(jì)。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。

（7）注意保證MFC的工作壓差

即保證MFC進(jìn)氣端和出氣端的壓力差在其指標(biāo)范圍之內(nèi)。常壓系統(tǒng)好保證，一般只要使用減壓器即可；高壓系統(tǒng)中一般要通過減壓器和背壓閥的結(jié)合使用來保證。

怎樣安裝連接?

MFM/MFC和氣路的連接，一般是用金屬管連接, 用我們隨機(jī)帶的雙卡套和螺母進(jìn)行密封鎖緊，請(qǐng)看說明書。使用軟管的用戶，可以用一段金屬管過渡，或使用我們提供的專用接頭。MFM/MFC和流量顯示儀的連接，直接用我們提供的連接線連通即可。注意多通道流量顯示儀的各通道要和相應(yīng) MFM/MFC 一一對(duì)應(yīng)，不要接錯(cuò)。

我們的MFM/MFC與流量顯示儀的連接線，標(biāo)準(zhǔn)出廠長度是兩米，如果長度不夠請(qǐng)注意說明。

出現(xiàn)故障時(shí)怎么辦？（1）判斷故障是否來自MFM/MFC 本身。

在一個(gè)系統(tǒng)當(dāng)中，如果流量測(cè)量或控制出現(xiàn)異常狀況，應(yīng)當(dāng)先仔細(xì)判斷故障出現(xiàn)在哪一部分，不要簡單地歸咎于MFM/MFC。我們發(fā)現(xiàn)過很多這樣的情況：故障的原因并不是來自于MFM/MFC自身，而是其它方面的問題使之不能正常工作，用戶在我們判斷故障時(shí)，可以參閱我們?cè)诩夹g(shù)說明書中提供的有關(guān)故障判斷和處理的內(nèi)容。（2）和生產(chǎn)廠家聯(lián)系。

一般不要自行維修，除非您確實(shí)有把握。如果不是我們的產(chǎn)品，而您和該產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家不好聯(lián)系，也可以找我們幫您看看。您可以直接把產(chǎn)品寄給我們。

零點(diǎn)變化了怎么辦？　　如果零點(diǎn)的變化是一個(gè)比較固定的偏差，您可以自行調(diào)整零點(diǎn)(見說明書), 視情況也可以重新標(biāo)定或不予理會(huì); 如果零點(diǎn)總是不穩(wěn)或長時(shí)間漂移, 應(yīng)當(dāng)送廠家修理。