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下面就跟著小編一起了解質(zhì)量流量控制器吧~
1.什么是質(zhì)量流量計(jì)?什么是質(zhì)量流量控制器?
大家可能會(huì)經(jīng)??吹?,有些地方說(shuō)質(zhì)量流量計(jì),有些地方說(shuō)質(zhì)量流量控制器。其實(shí),這是有區(qū)別的。
質(zhì)量流量計(jì),即Mass Flow Meter(MFM ), 是一種..測(cè)量氣體流量的儀表,其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補(bǔ)償。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC ),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),質(zhì)量流量計(jì)只測(cè)量不控制。而質(zhì)量流量控制器,則帶有控制閥門(mén),既可以測(cè)量也可以控制氣體流量大小。
2.怎么理解質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的流量單位?
氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)來(lái)表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別,也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之處。
對(duì)多數(shù)用戶而言,體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用,但也有用戶需要知道單位 時(shí)間內(nèi)流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù),可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干SLM)即可實(shí)現(xiàn)。所以說(shuō),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
質(zhì)量流量控制器內(nèi)容不多,但是小編希望能對(duì)各位有所幫助。