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氣體質(zhì)量流量控制器制器的結(jié)構(gòu)和工作原理介紹

所屬分類:行業(yè)資訊    發(fā)布時間: 2020-12-17    作者:admin
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氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制:氣體質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。擴散,氧化,分子束外延,CVD, 等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工,冶金,制藥等。特點:精度高,重復(fù)性好。

氣體質(zhì)量流量控制器

1、結(jié)構(gòu)

MFM由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器通道機殼等部件組成,只能對氣體質(zhì)量流量進行測量;在MFM基礎(chǔ)上加上調(diào)節(jié)閥構(gòu)成MFC,既可以對氣體質(zhì)量流量進行測量,也能對流量進行控制。

2、工作原理

氣流進入進氣管道街頭后大部分流量流過分流器通道,其中很小-部分進入傳感器內(nèi)部

的毛細鋼管。由于分流器通道的特殊結(jié)構(gòu),可以實現(xiàn)這兩部分氣體流量成正比例關(guān)系。傳感

器經(jīng)過預(yù)熱加溫,里面的溫度高于進入的氣流溫度,此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原

理測量這一小部分氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板,經(jīng)過放大后輸出,就完成了_MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能,把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進行比較,以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥,使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等,這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。

氣體質(zhì)量流量控制器

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