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質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程,在工作的過程當(dāng)中,控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.5MPa,若壓差低于.低值(0.1MPa),有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于.高值(0.5MPa),有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于設(shè)定值。用戶使用MFC時(shí),無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓,應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi),并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。質(zhì)量流量計(jì),即Mass Flow Meter(縮寫為MFM),是一種..測(cè)量氣體流量的儀表,其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補(bǔ)償。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。要特別注意工作介質(zhì)的氣壓,應(yīng)注意使本產(chǎn)品進(jìn)出氣口兩端的工作壓差保持在指標(biāo)范圍之內(nèi)。工作壓差不在規(guī)定的范圍內(nèi),流量將無法關(guān)閉或調(diào)小。在使用大流量的質(zhì)量流量控制器時(shí),要注意適當(dāng)加粗管道和減小氣源內(nèi)阻,若工作壓差小于要求值,有可能流量達(dá)不到滿量程值。
質(zhì)量流量計(jì),即為Mass Flow Meter(縮寫為MFM),只能檢測(cè)氣體的瞬時(shí)流量,不能自動(dòng)控制氣體流量。工作時(shí)無需考慮工作壓差的問題。