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熱式氣體質(zhì)量流量控制器在各大特殊加工行業(yè)中都是廣泛應(yīng)用的,今天就主要聊聊LF系列的熱式氣體質(zhì)量流量控制器在金剛石加工中的應(yīng)用情況。
氣體質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))由質(zhì)量流量傳感器,分流器通道,流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳遞分布效應(yīng)而制成,即熱分布式流量計(jì),采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較,用所得的差值信號去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門,通過閉環(huán),去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。 通過氣體質(zhì)量流量控制器DB9針接線端子中閥控信號線對氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行清洗和關(guān)閉操作,當(dāng)接線至電源正極時(shí),氣體質(zhì)量流量控制器為清洗狀態(tài),電磁調(diào)節(jié)閥強(qiáng)制完全打開,此時(shí)流量輸出不準(zhǔn)確,僅僅作為清洗通道作用,但不可將閥控信號長期至于清洗狀態(tài),以免電磁閥發(fā)熱過度導(dǎo)致?lián)p壞。當(dāng)接線至電源負(fù)極時(shí),氣體質(zhì)量流量控制器為關(guān)閉狀態(tài),電磁調(diào)節(jié)閥強(qiáng)制關(guān)閉。