熱式氣體質(zhì)量流量控制器或質(zhì)量流量計主要應(yīng)用于需要高精準(zhǔn)的控制和檢測氣體流量的行業(yè)，隨著市場需求的發(fā)展，目前本公司的產(chǎn)品精度高達(dá)：±0.5%F.S，超大流量量程的產(chǎn)品 ，精度也可達(dá)：±1%F.S。氣體流量的檢測和控制，一般會收到氣體環(huán)境溫度以及壓力的影響。那市面上什么樣的流量計，能檢測和控制氣體的實際流量而又不受到溫度和壓力的影響呢？那可以選擇熱式氣體質(zhì)量流量控制器或熱式氣體質(zhì)量流量計。

      LF系列的熱式氣體質(zhì)量流量控制器或質(zhì)量流量計，是采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。熱式的氣體質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。質(zhì)量流量單位表示：SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘）、SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）；通常國產(chǎn)的熱式氣體質(zhì)量 流量控制器測量的值是在標(biāo)準(zhǔn)狀況下的流量，標(biāo)準(zhǔn)狀況主要是指：溫度--273.15K(0℃)、壓力--101325Pa（760mmHg）。

    LF系列的熱式氣體質(zhì)量流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳遞分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計：采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門