LF420-SC系列的微小量程的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳遞分布效應而制成，即熱分布式流量計。采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設(shè)定的電壓進行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

    固廢處理，全稱固體廢棄物的處理，通常是指物理、化學、生物、物化及生化方法把固體廢物轉(zhuǎn)化為適于運輸、貯存、利用或處置的過程，固體廢棄物處理的目標是無害化、減量化、資源化。固體廢物是“三廢”中.難處置的一種，因為它含有的成份相當復雜，其物理性狀（體積、流動性、均勻性、粉碎程度、水份、熱值等）也千變?nèi)f化，要達到上述“無害化、減量化、資源化”目標會遇到相當大的麻煩，一般防治固體廢物污染方法首先是要控制其產(chǎn)生量.

    LF420-SC系列的氣體質(zhì)量流量控制器，帶控制調(diào)節(jié)功能的產(chǎn)品可以做到3毫升每分鐘，.小的控制量為能..的控制在0.5毫升每分鐘；只有檢測功能的質(zhì)量流量計，可以做到2毫升每分鐘，.小的檢測范圍能準確的檢測在0.2毫升每分鐘，是目前國產(chǎn)中一種極其微小的測控產(chǎn)品。