多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000 產(chǎn)品介紹

   六氟化鎢投加混合氫氣和氬氣的裝置，能把三種氣體按照預(yù)定比例的摻混智能化集成系統(tǒng)，具有將各路氣體進(jìn)行流量控制檢測(cè)、溫度控制檢測(cè)、系統(tǒng)抽真空以及氮?dú)獯祾叩裙δ堋?

多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000  產(chǎn)品用途

   適用于CVD氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)，以及使用六氟化鎢特殊氣體的行業(yè)，主要用于表面材料的研究。

多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000 應(yīng)用領(lǐng)域

     擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)等行業(yè)。

多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000  產(chǎn)品特點(diǎn)