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多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000

六氟化鎢投加混合氫氣和氬氣的裝置，能把三種氣體按照預(yù)定比例的摻混智能化集成系統(tǒng)，具有將各路氣體進行流量控制檢測、溫度控制檢…

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產(chǎn)品優(yōu)勢/ Product advantages

  • 多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000 產(chǎn)品介紹

       六氟化鎢投加混合氫氣和氬氣的裝置，能把三種氣體按照預(yù)定比例的摻混智能化集成系統(tǒng)，具有將各路氣體進行流量控制檢測、溫度控制檢測、系統(tǒng)抽真空以及氮氣吹掃等功能。

  • 多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000  產(chǎn)品用途

       適用于CVD氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)，以及使用六氟化鎢特殊氣體的行業(yè)，主要用于表面材料的研究。

  • 多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000 應(yīng)用領(lǐng)域

         擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)等行業(yè)。

  • 多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000  產(chǎn)品特點


         1、精度好，自動化程度高
         2、濃度可調(diào)控范圍廣泛
         3、流量設(shè)定后可自動調(diào)節(jié)
         4、可監(jiān)測氣體濃度超限報警


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